[发明专利]一种低刚度的磁悬浮重力补偿器及微动台结构

摘要

本发明属于重力补偿结构相关技术领域，其公开了一种低刚度的磁悬浮重力补偿器，其包括动子结构及定子结构，动子结构包括外永磁阵列环、内永磁阵列环及动子支撑框架，外永磁阵列环及内永磁阵列环分别设置在动子支撑架的环形槽相对的两个侧壁上，内永磁阵列环的厚度大于外永磁阵列环的厚度；定子结构包括收容于环形槽内的线圈支架及嵌设在线圈支架上的定子永磁环，所述定子永磁环的高度大于厚度，定子永磁环与内永磁阵列环的间距小于定子永磁环与外永磁阵列环的间距。本发明还提供了具有上述的磁悬浮重力补偿器的微动台结构。本发明实现了动子结构在较宽运动范围内的近零刚度磁力悬浮，且结构简单，适用范围广。

主权项

一种低刚度的磁悬浮重力补偿器，其包括动子结构及定子结构，其中该动子结构包括外永磁阵列环、内永磁阵列环及动子支撑框架，该动子支撑框架形成有环形槽，并且所述外永磁阵列环及所述内永磁阵列环分别设置在所述环形槽相对的两个侧壁上，其特征在于：所述内永磁阵列环的厚度大于所述外永磁阵列环的厚度，且所述内永磁阵列环与所述外永磁阵列环之间形成有环形的间隙；此外，所述外永磁阵列环及所述内永磁阵列环均是由三个充磁方向依次旋转90°的环形永磁体叠加构成，其中该内永磁阵列环包括第一永磁体、第三永磁体及第六永磁体，所述第一永磁体、所述第三永磁体及所述第六永磁体自上而下依次叠加设置，且充磁方向依次旋转90°；该外永磁阵列环包括第二永磁体、第五永磁体及第七永磁体，所述第二永磁体、所述第五永磁体及所述第七永磁体自上而下叠加设置，且充磁方向依次旋转90°；所述定子结构包括收容于所述环形槽内的线圈支架及嵌设在所述线圈支架上的定子永磁环，其中所述定子永磁环的高度大于其厚度，所述定子永磁环位于所述间隙内，且所述定子永磁环与所述内永磁阵列环的间距小于所述定子永磁环与所述外永磁阵列环的间距。