[发明专利]一种低刚度的磁悬浮重力补偿器及微动台结构

权利要求书

1.一种低刚度的磁悬浮重力补偿器，其包括动子结构及定子结构，其中该动子结构包括外永磁阵列环、内永磁阵列环及动子支撑框架，该动子支撑框架形成有环形槽，并且所述外永磁阵列环及所述内永磁阵列环分别设置在所述环形槽相对的两个侧壁上，其特征在于：

所述内永磁阵列环的厚度大于所述外永磁阵列环的厚度，且所述内永磁阵列环与所述外永磁阵列环之间形成有环形的间隙；此外，所述外永磁阵列环及所述内永磁阵列环均是由三个充磁方向依次旋转90°的环形永磁体叠加构成，其中该内永磁阵列环包括第一永磁体、第三永磁体及第六永磁体，所述第一永磁体、所述第三永磁体及所述第六永磁体自上而下依次叠加设置，且充磁方向依次旋转90°；该外永磁阵列环包括第二永磁体、第五永磁体及第七永磁体，所述第二永磁体、所述第五永磁体及所述第七永磁体自上而下叠加设置，且充磁方向依次旋转90°；

所述定子结构包括收容于所述环形槽内的线圈支架及嵌设在所述线圈支架上的定子永磁环，其中所述定子永磁环的高度大于其厚度，所述定子永磁环位于所述间隙内，且所述定子永磁环与所述内永磁阵列环的间距小于所述定子永磁环与所述外永磁阵列环的间距。

2.如权利要求1所述的低刚度的磁悬浮重力补偿器，其特征在于：所述定子永磁环的厚度大于等于4毫米且小于等于4.5毫米。

3.如权利要求2所述的低刚度的磁悬浮重力补偿器，其特征在于：所述定子永磁环的厚度为4.2毫米。

4.如权利要求1所述的低刚度的磁悬浮重力补偿器，其特征在于：所述定子永磁环的最大高度为6毫米。

5.如权利要求1-4任一项所述的低刚度的磁悬浮重力补偿器，其特征在于：所述定子结构还包括第一组线圈及第二组线圈，其中所述第一组线圈及所述第二组线圈分别设置在所述线圈支架相背的两端，且两者相对于所述线圈支架的几何中心对称设置。

6.如权利要求5所述的低刚度的磁悬浮重力补偿器，其特征在于：所述线圈支架呈环形；所述第一组线圈及所述第二组线圈均包括有两个线圈，同组的两个线圈分别嵌设在所述线圈支架的内壁及外壁上。

7.如权利要求1所述的低刚度的磁悬浮重力补偿器，其特征在于：所述定子永磁环包括第四永磁体，并且该第四永磁体为环形。

8.如权利要求1所述的低刚度的磁悬浮重力补偿器，其特征在于：所述内永磁阵列环位于所述外永磁阵列环之内；所述线圈支架开设有与所述环形槽相连通的环形收容槽，所述定子永磁环收容于所述环形收容槽内。

9.一种微动台结构，其包括承载件，其特征在于：所述微动台结构还包括如权利要求1-8任一项所述的低刚度的磁悬浮重力补偿器，所述磁悬浮重力补偿器设置在所述承载件上。