[发明专利]一种OLED微型显示器快速检验装置及其快速检验方法

摘要

本发明涉及一种OLED微型显示器快速检验装置及其快速检验方法,其包括用于固定和移动待检验晶圆探针台、位于该探针台上方图像感应器、与图像感应器电连接带有特征数据库的计算机。其检验方法为先将待检验晶圆装载在探针台上；再通过图像感应器采集该晶圆的图像信息，并将图像信息传输到包含包括特征数据库的计算机；然后由计算机对所获取到的图像进行处理；接着获取缺陷特征数据，通过特征数据库识别记录缺陷特征数据，并输缺陷信息；最后根据缺陷信息分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量。通过计算机基于特征数据库对图像感应器获取的图像进行处理，以分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量，实现了自动化缺陷识别和筛选，有效地缩短了检验时间。

主权项

一种OLED微型显示器快速检验装置，其特征在于，包括：用于固定和移动待检验晶圆的探针台；位于所述探针台上方且用于采集所述晶圆像信息的图像感应器；以及与所述图像感应器电连接的计算机；所述计算机包括特征数据库，所述计算机控制所述图像感应器获取图像信息，并基于所述特征数据库对所获取到的图像进行处理、以分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量。