[发明专利]探针卡自动检测与校正方法及装置在审
| 申请号： | 201710350377.3 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108955517A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王金源 | 申请（专利权）人： | 源台精密科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 倪中翔;王淳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种探针卡自动检测与校正方法，其包括有：以一量测部辨识探针卡的各脚位的位置；比对上述各脚位的位置与一标准位置，判断二者的偏差情形；将出现偏差的脚位标记为一错误脚位；计算错误脚位的位置与标准位置的位移向量；将探针卡输送至一校正部，其中校正部具有一工作位置，而探针卡的错误脚位被直接输送至校正部的工作位置；以校正部控制错误脚位，并通过输送部与校正部之间依上述位移向量的相对移动进行错误脚位的校正；校正完成一个错误脚位后，下一个错误脚位被直接输送至工作位置。此外，本发明还提供一种探针卡自动检测与校正装置。 | ||
| 搜索关键词： | 脚位 探针卡 校正部 校正 自动检测 标准位置 位移向量 直接输送 相对移动 校正装置 辨识 比对 量测 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，它包括：以一量测部辨识一探针卡的各脚位的位置；比对上述各脚位的位置与一标准位置，判断二者的偏差情形；若前述二者具有偏差，则将出现偏差的脚位标记为一错误脚位；以一计算单元计算该错误脚位的位置与该标准位置的差距的一位移向量；以一输送部将该探针卡输送至一校正部；其中该校正部具有一工作位置，而该探针卡的错误脚位被该输送部直接输送至该工作位置；以该校正部控制该错误脚位，并通过该输送部与该校正部之间依该位移向量的相对移动进行该错误脚位的校正；该探针卡的一个错误脚位校正完成后，下一个错误脚位被该输送部直接输送至该校正部的工作位置。
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