[发明专利]蒸镀组件及蒸镀设备

摘要

本发明涉及一种蒸镀组件。蒸镀组件包括磁性板，磁性板平行于掩模板，且磁性板正对掩模板；磁性板包括均匀分布于同一平面的多个磁性块，磁性块所在的平面平行于掩模板，每个磁性块提供相同的作用力作用于掩模板上，以使得掩模板向基板贴合。本发明还涉及一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括上述蒸镀组件。上述蒸镀组件及蒸镀设备，在朝向基板的方向上，掩模板各处受到了均匀的推力或拉力，可以使掩模板与基板紧密贴合，从而使得材料只被蒸镀在基板上与掩模板的掩模图案对应的位置，进而使得基板的蒸镀效果较好。

主权项

1.一种蒸镀组件，用于使掩模板与待蒸镀的基板配合在一起，所述掩模板采用磁性材料制备而成；其特征在于，所述蒸镀组件包括磁性板，所述磁性板平行于所述掩模板，且所述磁性板正对所述掩模板；所述磁性板包括均匀分布于同一平面的多个磁性块，所述磁性块所在的平面平行于所述掩模板，每个所述磁性块提供相同的作用力作用于所述掩模板上，以使得所述掩模板向所述基板贴合。