[发明专利]一种光刻胶瓶在审
申请号: | 201710340332.8 | 申请日: | 2017-05-15 |
公开(公告)号: | CN107161475A | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 朱治国;孙国庆 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B65D23/00 | 分类号: | B65D23/00;B65D77/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种光刻胶瓶,包括外瓶和设置于外瓶内部的内囊,所述外瓶内部设置有一支撑部,所述支撑部与所述外瓶的底壁的外表面构成一锐角;所述内囊的底壁设置于所述支撑部上;所述外瓶上设置有一开口,所述开口的底壁较所述内囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁。自然状态时,支撑部呈倾斜状,内囊放置于支撑部上,光刻胶受到重力从开口处全部流出,可完全利用,避免了光刻胶的浪费。并且,由于未使用长管,不会存在光刻胶快用尽时内囊堵住长管的情况。更换新瓶时,工作人员可直接取下机台上已使用完的光刻胶瓶,换上新瓶,相较于现有技术中拔出旧瓶中的长管插入新瓶,更容易操作,也不会有残余的胶膜掉入新瓶中形成缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 光刻 | ||
【主权项】:
一种光刻胶瓶,其特征在于,包括外瓶和设置于外瓶内部的内囊,所述外瓶内部设置有一支撑部,所述支撑部与所述外瓶的底壁的外表面构成一锐角;所述内囊的底壁设置于所述支撑部上;所述外瓶上设置有一开口,所述开口的底壁较所述内囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁。
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