[发明专利]一种降低切割成本的砂浆及其生产工艺

摘要

本发明公开了一种降低切割成本的砂浆及其生产工艺，所述砂浆包括砂液和悬浮液；所述砂液中碳化硅含量≥98.5％，游离碳≤0.35％，三氧化二铁≤0.6％，所述砂液的pH值为6‑8；所述悬浮液为透明液体，色泽≤40hazen，折光率为1.4550‑1.4640，悬浮液的pH值为5.5‑7，含水量为≤0.5％。本发明大幅度降低切割主要耗材砂浆的使用量，达到降本增效的目的，通过本发明，能够实现在不影响硅片质量的基础上，每刀砂浆的使用量降低20％以上。

主权项

1.一种降低切割成本的砂浆的生产工艺，其特征在于：所述的降低切割成本的砂浆包括砂液和悬浮液；所述砂液中碳化硅含量≥98.5％，游离碳≤0.35％，三氧化二铁≤0.6％，所述砂液的pH值为6‑8；所述悬浮液为透明液体，色泽≤40hazen，折光率为1.4550‑1.4640，悬浮液的pH值为5.5‑7，含水量为≤0.5％；所述的降低切割成本的砂浆的生产工艺，包括如下步骤：(1)对来料砂液取样检测，所述砂液中碳化硅含量≥98.5％，游离碳≤0.35％，三氧化二铁≤0.6％，所述砂液的pH值为6‑8，砂液中砂的粒度分布满足如下具体指标：8.0μm≤D50≤8.6μm、D3≤16μm、D0≤30μm、D94≥4.5μm、D99≥2.0μm，并且，1‑4.25μm≤3％、20.62‑30μm≤0.35％、7‑11μm≥58％；(2)对悬浮液取样检测，所述悬浮液为透明液体，色泽≤40hazen，折光率为1.4550‑1.4640，悬浮液的pH值为5.5‑7，含水量为≤0.5％，25℃下悬浮液的旋转粘度为48‑55mpa.s，20℃下悬浮液的密度为1.12‑1.13g/cm3，25℃下悬浮液的电导率为≤8us/cm；(3)按比例称量碳化硅和悬浮液；(4)将悬浮液和碳化硅倒进搅拌缸，开启砂浆搅拌模式，搅拌时间为8h以上；(5)测量砂浆密度，所述砂浆的密度为其中，由公式算出配置所需的砂和液重量V砂＝m砂/ρ砂；(6)将上述配置好的砂浆打入切片砂浆缸。