[发明专利]均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉有效
申请号: | 201710336120.2 | 申请日: | 2017-05-12 |
公开(公告)号: | CN107146828B | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 袁向东;孔令建;黄英明;宋维素;许颖;袁瑒 | 申请(专利权)人: | 北京金晟阳光科技有限公司;莱芜金晟阳光精密设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 37212 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人: | 马俊荣<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 100102 北京市朝阳区北苑路*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,包括炉体,炉体包括上炉体和下炉体,上炉体内至少设置一组光源,相邻两组光源之间或者光源与上炉体框架之间设置有进风口,对应进风口在其下方设置导流板,下炉体中设置电池片传输装置,电池片在电池片传输装置上水平传输并接受光源照射,电池片下方的下炉体上设置有出风口,出风口外接抽风装置,炉体内设置温度传感器,光源、电池片传输装置、抽风装置和温度传感器连接控制器。本发明结构简单,设计合理,可以对电池片的处理温度进行均匀控制,解决了辐照处理效果不均匀的问题,可以在30S时间内完成辐照退火处理,并且将LID控制在1%以内,缩短了处理时间,提高了退火效果和生产效率。 | ||
搜索关键词: | 均匀 高效 退火 太阳电池 辐照 退火炉 | ||
【主权项】:
1.一种均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,包括炉体,其特征在于:炉体包括上炉体(1)和下炉体(11),上炉体(1)内至少设置一组光源(3),相邻两组光源(3)之间或者光源(3)与上炉体框架之间设置有进风口(12),对应进风口(12)在其下方设置上导流板(4),下炉体(11)中设置电池片传输装置(6),电池片(5)在电池片传输装置(6)上水平传输并接受光源(3)照射,电池片(5)下方的下炉体(11)上设置有出风口(9),出风口(9)外接抽风装置(10),炉体内设置温度传感器(16),光源(3)、电池片传输装置(6)、抽风装置(10)和温度传感器(16)连接控制器;所述的进风口(12)为一长方形的细长缝,其长度大于或等于电池片传输装置(6)上的电池片的边长,并且进风口(12)的长边方向与电池片的行进方向垂直。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的