[发明专利]波导微纳加工系统以及加工方法

摘要

本发明提供一种加工成本低、精度高、一致性好的波导微纳加工系统以及加工方法。本发明所涉及的波导微纳加工系统，其特征在于，包括：光源部，提供激光束；加工部，将激光束聚焦至基底上进行光刻加工，并对加工过程进行实时监测，具有：可变焦透镜、三维形貌仪、相机、以及测温仪；多自由度工作台，根据预设的波导图案带动基底在多个自由度方向上进行移动；光学平台，用于安放多自由度工作台，并隔绝外界振动；吹气部，设置在多自由度工作台的一侧，对着加工区域进行吹气；吸气部，设置在多自由度工作台的另一侧，对吹气部吹送来的气体进行吸除；控制部，连接并控制光源部、加工部、多自由度工作台、光学平台、吹气部、以及吸气部的运行。

主权项

1.一种波导微纳加工系统，其特征在于，包括：光源部，提供激光束；加工部，设置在所述光源部的光路上，用于将激光束聚焦至基底上进行光刻加工，并对加工过程进行实时监测，具有：可变焦透镜、三维形貌仪、相机以及测温仪；多自由度工作台，承载所述基底，并使所述基底朝向所述加工部，根据预设的波导图案带动所述基底在多个自由度方向上进行移动；光学平台，用于安放所述多自由度工作台，并隔绝外界振动；吹气部，设置在所述多自由度工作台的一侧，对着加工区域进行吹气；吸气部，设置在所述多自由度工作台的另一侧，对所述吹气部吹送来的气体进行吸除；控制部，连接并控制所述光源部、所述加工部、所述多自由度工作台、所述光学平台、所述吹气部以及所述吸气部的运行，其中，所述三维形貌仪在加工过程中实时监测所述基底上的光刻槽的表面形貌，并将所述表面形貌实时反馈给控制部，所述控制部将接收到的所述表面形貌与存储的理想表面形貌进行对比，实时调节所述光源部的相应参数和所述可变焦透镜的焦距，将表面形貌误差控制在一定范围内，所述相机为CCD工业相机，用于在加工过程中实时监测激光扫描路径上是否有杂质颗粒物，当监测到扫描路径上存在所述杂质颗粒物时，所述控制部实时调整所述多自由度工作台的运动，并实时调节光源部的相关参数和所述可变焦透镜的焦距，从而将激光束聚焦于所述杂质颗粒物处进行定点烧蚀。