[发明专利]一种超薄玻璃厚度的在线测量装置、方法及应用有效
| 申请号： | 201710305434.6 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107101573B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 李战胜;秦岭;周龙;胡淑均 | 申请（专利权）人： | 武汉轻工大学 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 李佑宏 |
| 地址： | 430023 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，包括基准探头和感应探头，其中，基座探头包括基准探头支撑套管、电涡流基准座、基准探头激光测距传感器、以及基准探头缓冲弹簧；感应探头包括感应探头支撑套管、电涡流传感器、感应探头激光测距传感器以及感应探头缓冲弹簧，两传感器分别检测到对应的基准探头缓冲弹簧和感应探头缓冲弹簧发生压缩形变导致的间距变化，实现厚度测量。本发明还公开了相应的测量系统及测量方法和应用。本发明通过多种传感器实现的自动化测量装置，能够在玻璃减薄和二次强化工艺进行中避免腐蚀性的溶液的影响，以及实时在线获取准确的测量信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 玻璃 厚度 在线 测量 装置 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其包括分别设置在待测玻璃相对的两表面外侧并可相对对应表面移动的基准探头(1)和感应探头(2)，其中，所述基座探头(1)包括基准探头支撑套管(103)、设置在基准探头支撑套管(103)的靠近待测玻璃的一端端部管口上的电涡流基准座(114)、设置在基准探头支撑套管(103)另一端端部管口上的基准探头激光测距传感器(115)、以及同轴容置在所述基准探头支撑套管(103)中且两端分别与所述基准探头激光测距传感器(115)和电涡流基准座(114)接触的基准探头缓冲弹簧(104)；所述感应探头(2)包括感应探头支撑套管(108)、设置在感应探头支撑套管(108)靠近待测玻璃的一端端部管口上的电涡流传感器(113)、设置在感应探头支撑套管(108)另一端端部管口上的感应探头激光测距传感器(112)、以及同轴容置在所述感应探头支撑套管(108)内且两端分别与所述电涡流传感器(113)和感应探头激光测距传感器(112)接触的感应探头缓冲弹簧(107)；在作用力驱动下所述基准探头和感应探头相向向待测玻璃表面移动中，所述基准探头激光测距传感器(115)和感应探头激光测距传感器(112)可检测到对应的基准探头缓冲弹簧(104)和感应探头缓冲弹簧(107)由于电涡流基准座(114)和电涡流传感器(113)因接触到待测玻璃表面而发生压缩形变导致间距发生变化，此时刻利用上述电涡流传感器(113)可获取其与对应的电涡流基准座(114)之间的间距，即可获得玻璃厚度的精确值。
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