[发明专利]一种超薄玻璃厚度的在线测量装置、方法及应用

权利要求书

1.一种玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其包括分别设置在待测玻璃相对的两表面外侧并可相对对应表面移动的基准探头（1）和感应探头（2），其中，

所述基准探头（1）包括基准探头支撑套管（103）、设置在基准探头支撑套管（103）的靠近待测玻璃的一端端部管口上的电涡流基准座（114）、设置在基准探头支撑套管（103）另一端端部管口上的基准探头激光测距传感器（115）、以及同轴容置在所述基准探头支撑套管（103）中且两端分别与所述基准探头激光测距传感器（115）和电涡流基准座（114）接触的基准探头缓冲弹簧（104），其中所述电涡流基准座（114）的主体采用坡莫合金；

所述感应探头（2）包括感应探头支撑套管（108）、设置在感应探头支撑套管（108）靠近待测玻璃的一端端部管口上的电涡流传感器（113）、设置在感应探头支撑套管（108）另一端端部管口上的感应探头激光测距传感器（112）、以及同轴容置在所述感应探头支撑套管（108）内且两端分别与所述电涡流传感器（113）和感应探头激光测距传感器（112）接触的感应探头缓冲弹簧（107）；

在作用力驱动下所述基准探头和感应探头相向向待测玻璃表面移动中，所述基准探头激光测距传感器（115）和感应探头激光测距传感器（112）可检测到对应的基准探头缓冲弹簧（104）和感应探头缓冲弹簧（107）由于电涡流基准座（114）和电涡流传感器（113）因接触到待测玻璃表面而发生压缩形变导致间距发生变化，此时刻利用上述电涡流传感器（113）可获取其与对应的电涡流基准座（114）之间的间距，即可获得玻璃厚度的精确值。

2.根据权利要求1 所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，所述电涡流基准座（114）或电涡流传感器（113）可相对所述基准探头支撑套管（103）或感应探头支撑套管（108）端部管口在轴向上移动，从而可实现驱动基准探头缓冲弹簧（104）或感应探头缓冲弹簧（107）而产生形变。

3.根据权利要求1所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，所述电涡流基准座（114）或电涡流传感器（113）为中心具有凸起的圆台，所述圆台的凸起对应套装在基准探头支撑套管（103）或感应探头支撑套管（108）管口内，圆台外沿与基准探头支撑套管（103）或感应探头支撑套管（108）端面之间设有间隙，以保证电涡流基准座（114）或电涡流传感器（113）在套管内能够轴向移动。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，所述基准探头支撑套管（103）的外周套接有基准探头波纹管（105），基准探头波纹管（105）一端与电涡流基准座（114）连接，以匹配电涡流基准座（114）在相对基准探头支撑套管（103）端部的轴向移动，并保护基准探头（1）不受腐蚀溶液的影响。

5.根据权利要求4所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，其中，基准探头支撑套管（103）外部还设置有基准探头电缆支撑套管（101），用于容纳和支撑与基准探头激光测距传感器（115）连接的基准探头激光测距传感器电缆（102）。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，感应探头支撑套管（108）外周套接有感应探头波纹管（106），感应探头波纹管（106）一端与电涡流传感器（113）连接，以匹配电涡流传感器（113）在相对感应探头支撑套管（108）端部的轴向移动，并保护感应探头（2）不受腐蚀溶液的影响。

7.根据权利要求6所述的玻璃减薄工艺中的玻璃厚度实时在线测量装置，其中，感应探头支撑套管（108）外部还设置有感应探头电缆支撑套管（110），用于容纳和支撑与感应探头激光测距传感器（112）连接的电涡流传感器电缆（111）。