[发明专利]一种太阳能电池片的质量检测方法及其检测装置

摘要

本发明提供了一种太阳能电池片的质量检测方法及其检测装置，该方法利用检测装置对待测电池片进行扫描，得到电池片的OCT三维图像；然后对所得OCT三维图像进行观察或处理得到电池片的外观特征、缺陷位置、厚度、栅线电极尺寸以及电池片陷光能力等信息，可实现对太阳能电池片的无接触、无损伤在线实时检测。本发明检测更加全面，只靠单一检测方法和装置就能实现多项参数的检测，大大降低了检测成本，同时可检测生产线各阶段的半成品质量，为各工艺流程生产提供参考指标。

主权项

一种太阳能电池片的质量检测方法，其特征在于，包括以下步骤：①利用检测装置对待测电池片进行扫描，得到电池片的OCT三维图像；所述检测装置包括OCT检测系统，所述OCT检测系统采用硅片不能吸收的近红外光源；②对所得OCT三维图像进行观察或处理得到电池片的质量参数：（a）获得电池片的缺陷、杂质参数：观察OCT三维图像，纯净的晶体硅在图像中是透明的，但缺陷和杂质会引起散射或吸收而呈现为亮斑或亮线，通过直接观察获得电池片的缺陷、杂质参数；（b）获得电池片的厚度、曲翘度及电池栅极参数：由OCT三维图像观察电池片的上下表面结构，直接得到电池片表面蒸镀和断栅情况；通过边界微分算子得到硅片的上下表面位置，并根据像素得到硅片在OCT三维图像上的高度值h1，再由硅片在红外波段的折射率n得到硅片的厚度h=h1/n，根据硅片的厚度并通过比例尺得到相邻两条栅线电极的间距以及每条栅线电极的宽度和高度；根据硅片的上下表面位置得其中心面位置，然后根据像素求得沿水平方向不同区域中心面间的最大垂直距离即为电池片的曲翘度；（c）获得电池片陷光能力参数：将电池片的OCT三维图像沿深度方向进行平均，得到纵向的一维平均光强值，用电池片上表面的光强值来表征电池片的陷光能力，电池片上表面的光强值与电池片的陷光能力成反比。