[发明专利]离子源、离子源注入设备及离子分布调整方法在审
| 申请号： | 201710296102.6 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107093542A | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 田香军;陈艳;王学勇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种离子源、离子注入设备及离子源的离子分布调整方法，所述离子源包括腔室；多个放电部件，设置在腔室内，用于在加载电信号之后产生电子；加速电极，设置在腔室内，用于与放电部件之间产生电场，以对电子加速；磁场产生部件，设置在腔室上，用于在腔室内产生磁场；气体引入部，用于向腔室内引入气体，以与电子碰撞产生离子；及，离子引出部，用于将腔室内的离子引出；离子源还包括移动机构，放电部件通过移动机构以可移动地方式设置在腔室内。本发明提供的离子源、离子注入设备及离子源的离子分布调整方法能够节省灯丝寿命，节约费用，提升离子束电流密度均一性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 注入 设备 离子 分布 调整 方法 | ||
【主权项】：
一种离子源，包括：腔室；多个放电部件，设置在所述腔室内，用于在加载电信号之后产生电子；加速电极，设置在所述腔室内，用于与所述放电部件之间产生电场，以对电子加速；磁场产生部件，设置在所述腔室上，用于在所述腔室内产生磁场；气体引入部，用于向所述腔室内引入气体，以与电子碰撞产生离子；及，离子引出部，用于将所述腔室内的离子引出；其特征在于，所述离子源还包括：移动机构，所述放电部件通过所述移动机构以可移动地方式设置在所述腔室内。
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