[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201710281681.7 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN106978590B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括蒸发部、传输管道以及蒸镀部；传输管道包括第一管道、第二管道以及第三管道，第一管道的一端与蒸发部的蒸发腔连通；第二管道的一端与蒸镀部的蒸镀腔连通，第三管道用于将第一管道的另一端以及第二管道的另一端连通；第三管道上设置有蒸汽压控制组件，该蒸汽压控制组件用于在由蒸镀切换为闲置时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，由闲置切换为蒸镀时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压升高。该方案在传输管道上设置蒸汽压控制组件，在由蒸镀切换为闲置时控制第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，以减缓蒸发材料的蒸发速率，使得在闲置时蒸发材料的蒸发量减少，从而降低蒸发材料的损耗，提升材料利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，该蒸镀装置包括：蒸发部、传输管道以及蒸镀部；蒸发部用于对蒸镀材料进行加热蒸发，以在其蒸发腔内形成蒸发气体；传输管道用于将该蒸发腔中形成的蒸发气体传输到蒸镀部的蒸镀腔；蒸镀部用于将其蒸镀腔内收容的蒸发气体蒸镀到基板上；该传输管道包括第一管道、第二管道以及第三管道；第一管道的一端与蒸发部的蒸发腔连通，第一管道上设置有第一温控组件，以用于保持第一管道内的温度恒定；第二管道的一端与蒸镀部的蒸镀腔连通，第二管道上设置有第二温控组件，用于保持第二管道内的温度恒定；第三管道用于将第一管道的另一端以及第二管道的另一端连通；第三管道上设置有蒸汽压控制组件，所述蒸汽压控制组件包括控制器，制冷件以及制热件，控制器与制冷件及制热件电连接，所述制热件包覆在第三管道的外壁上，制冷件包覆所述制热件，所述蒸汽压控制组件用于在由蒸镀切换为闲置时控制制冷件制冷以使第三管道内蒸发气体的蒸汽压降低，由闲置切换为蒸镀时控制制热件加热以使第三管道内蒸发气体的蒸汽压升高。
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