[发明专利]光学相干层析成像装置

摘要

本发明实施例提供一种光学相干层析成像装置，包括用于生成高级次轴对称偏振光束的光源机构、用于放置所述被测对象的可移动平台，其中所述可移动平台上设有驱动器以根据主控机构的步进信号驱动所述可移动平台进行步进位移；还包括分束镜、第一显微镜、第二显微镜、参考镜、电荷耦合元件。上述技术方案提出了一种光学相干层析成像装置，其通过高级次轴对称偏转光束经过分束镜分束、第一显微镜反射聚焦后以多焦点方式照射到三维平移台上的待测对象上，能同时获得待测对象上多个探测点的特征信息，故本发明可更快的获得待测对象的三维图像。

主权项

一种光学相干层析成像装置，其特征在于，包括用于生成高级次轴对称偏振光束的光源机构、用于放置所述被测对象的可移动平台，其中所述可移动平台上设有驱动器以根据主控机构的步进信号驱动所述可移动平台进行步进位移；还包括分束镜、第一显微镜、第二显微镜、参考镜、电荷耦合元件；其中所述光源机构发出的高级次轴对称偏振光束经过分束镜进行分束后得到至少两条光束：射入第一显微镜的第一高级次轴对称偏振光分束、作为参考入射光的第二高级次轴对称偏振光分束，其中所述参考入射光射入参考镜后被根据来自驱动器的步进位移参数进行移相处理后得到参考反射光束；其中所述第一显微镜的位置与可移动平台相对应，以使第一显微镜将所述第一高级次轴对称偏振光分束进行反射聚焦后形成探测入射光以多焦点方式照射到可移动平台上的被测物体，以使探测入射光经被测物体反射后形成第一探测反射光；其中所述第一探测反射光和参考反射光都射入第二显微镜以使第二显微镜将第一探测反射光束、参考反射光束进行聚焦后得到的探测相干光束发送至电荷耦合元件；其中所述电荷耦合元件用于对第二显微镜聚焦得到的探测相干光束转换为探测数字电信号，并将探测数字电信号发送至计算机信号处理与控制系统；其中所述计算机信号处理与控制系统用于生成步进信号以驱动可移动平台的驱动器进行步进移动，并接收电荷耦合元件发送的探测数字电信号构建被测对象的三维图像。