[发明专利]一种带泄压阀的安全石英源瓶在审
| 申请号： | 201710280205.3 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108730577A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 向东;宋一成 | 申请（专利权）人： | 向东 |
| 主分类号： | F16K17/168 | 分类号： | F16K17/168;F16K17/19;F16K31/60 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 550001 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 一种带泄压阀的安全石英源瓶，瓶体顶部连接阀体，阀体上设有阀芯、进出气通道和泄压阀；阀芯设有与阀体进气通道相对应的进气孔，阀芯上端连接旋柄控制阀门开关，阀芯下端连接与进气孔相对应的进气管；出气通道上端连接泄压阀；在不工作时阀体进出气通道用可拆卸堵帽密封。阀体、阀芯、泄压阀、进口管、堵头等，均采用PFA、PTFE等高纯耐腐蚀材质制成。该源瓶可满足正常扩散工艺要求；当出气管道堵塞，石英源瓶内部压力超过安全值时自动泄压，保证石英源瓶不破裂；操作简便，避免误操作，大大提高了工艺操作和使用的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 泄压阀 石英源瓶 阀体 阀芯 进出气通道 进气孔 控制阀门开关 耐腐蚀材质 出气管道 出气通道 阀芯上端 工艺操作 进气通道 扩散工艺 连接阀体 内部压力 瓶体顶部 自动泄压 上端 进口管 进气管 可拆卸 误操作 安全 堵帽 高纯 下端 旋柄 源瓶 密封 破裂 堵塞 保证 | ||
【主权项】：
1.一种新型石英源瓶，其特征是：瓶体顶部连接阀体，阀体上设有阀芯、进出气通道和泄压阀；阀芯设有与阀体进气通道相对应的进气孔，阀芯上端连接旋柄控制阀门开关，阀芯下端连接与进气孔相对应的进气管；出气通道上端连接泄压阀；在不工作时阀体进出气通道用可拆卸堵帽密封。
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