[发明专利]一种带泄压阀的安全石英源瓶

说明书

一种带泄压阀的安全石英源瓶，瓶体顶部连接阀体，阀体上设有阀芯、进出气通道和泄压阀；阀芯设有与阀体进气通道相对应的进气孔，阀芯上端连接旋柄控制阀门开关，阀芯下端连接与进气孔相对应的进气管；出气通道上端连接泄压阀；在不工作时阀体进出气通道用可拆卸堵帽密封。阀体、阀芯、泄压阀、进口管、堵头等，均采用PFA、PTFE等高纯耐腐蚀材质制成。该源瓶可满足正常扩散工艺要求；当出气管道堵塞，石英源瓶内部压力超过安全值时自动泄压，保证石英源瓶不破裂；操作简便，避免误操作，大大提高了工艺操作和使用的安全性。

技术领域

本发明涉及一种半导体，太阳能产业生产工艺中使用，用于盛装高纯三氯氧磷，三溴化硼等化学品的石英源瓶。

背景技术

太阳能行业生产中扩散、掺杂工艺的主要原料有三氯氧磷、三溴化硼等。目前盛装三氯氧磷、三溴化硼等源液的容器均采用的传统石英瓶，而传统石英源瓶在设计上未考虑到在特殊情况下源瓶的泄压需求。尽管目前开发设计出多种新型石英源瓶，如专利号为CN104409391A的“一种用于扩散炉的防爆源瓶”，提及了防爆问题，但却未从根本上解决石英源瓶内部受压导致破裂的安全问题。经实践证明传统石英源瓶，使用时存在一定的安全隐患，尤其是误操作，当进气阀打开，出气阀未打开或出气管道堵塞时，会导致石英源瓶内部压力超过石英瓶耐压极限，发生爆瓶事故，使毒性强、高腐蚀的源液泄漏。不能满足安全生产要求。

发明内容

本发明的目的是提供一种带泄压阀的安全石英源瓶，以解决上述传统石英源瓶的缺陷。

本发明的目的是这样实现的：瓶体顶部连接阀体，阀体上设有阀芯、进出气通道和泄压阀；阀芯设有与阀体进气通道相对应的进气孔，阀芯上端连接旋柄控制阀门开关，阀芯下端连接与进气孔相对应的进气管；出气通道上端连接泄压阀；在不工作时阀体进出气通道用可拆卸堵帽密封。

所述的阀体、阀芯、泄压阀、进口管、堵头等，均采用PFA、PTFE等高纯耐腐蚀材质制成。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：该源瓶可满足正常扩散工艺要求；当出气管道堵塞，石英源瓶内部压力超过安全值时自动泄压，保证石英源瓶不破裂；操作简便，避免误操作，大大提高了工艺操作和使用的安全性。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明。

图1是本发明实施例阀门打开结构示意图。

图2是本发明实施例阀门关闭结构示意图。

图中：1阀体、2阀芯、3旋柄、4瓶体、5泄压阀、6进气管、7进气通道、8出气通道、9堵帽、10进气孔

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

实施例：瓶体4顶部连接阀体1，阀体1上设有阀芯2、进出气通道7和泄压阀5；阀芯2设有与阀体进气通道7相对应的进气孔10，阀芯2上端连接旋柄3控制阀门开关，阀芯2下端相连接与进气孔10相对应的进气管6；出气通道8上端连接泄压阀5；在不工作时阀体1上的进气通道7和出气通道8用可拆卸堵帽9密封。

所述的阀体1、阀芯2、泄压阀5、进气管6、堵帽10等，均采用PFA、PTFE等高纯耐腐蚀材质制成。

使用时，操作旋柄3使阀芯2到“开”位，打开进气通道7，载气从进气通道7经进气管6通入瓶体4，携带源液从出气通道8排出；操作旋柄3使阀芯2转90°到“关”位，关闭进气通道7。

当石英源瓶内部压力大于泄压阀5设定的安全值时，阀体1上的泄压阀5自动泄压，防止爆瓶事故的发生。