[发明专利]二维位移测量装置及测量方法

摘要

本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少两束光，且两束光频率不同；汇聚模块，用于对至少两束光进行汇聚后入射至待测目标上，且两束光在待测目标上相交，并接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。

主权项

1.一种二维位移测量装置，其特征在于，所述二维位移测量装置包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，设置于从激光器出射的偏振激光的光路上，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少两束光，包括第一光束I₁和第二光束I₂，且两束光频率不同；汇聚模块，设置于从分光移频模块出射的至少两束光的光路上，用于对至少两束光进行汇聚后入射至待测目标上，且两束光在待测目标上相交，并接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；其中，使返回的激光进入激光器，包括：使所述第一光束I₁沿所述第二光束I₂的入射光路返回激光器，使所述第二光束I₂沿所述第一光束I₁的入射光路返回激光器，以及使所述第一光束I₁沿所述第一光束I₁的入射光路返回激光器；信号检测模块，设置于从激光器出射的偏振激光的光路上，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，包括信号处理单元和数据处理单元，所述信号处理单元与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行预处理及同步相位解调，所述数据处理单元与所述信号处理单元连接，用于对解调出的相位进行数据处理及计算，获得离面位移及面内位移。