[发明专利]一种电磁悬浮微镜驱控系统在审
| 申请号： | 201710268872.X | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108205333A | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 罗忠辉;肖奇军;刘玉玲 | 申请（专利权）人： | 广东技术师范学院 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510665 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁悬浮微镜驱控系统，包括定子和转子，所述定子包括若干块轴向旋转驱动电极、若干块径向旋转驱动电极、公共电极、悬浮线圈、稳定线圈及引脚，若干块轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上，若干块径向旋转驱动电极呈环形分布于定子上，公共电极为圆形；悬浮线圈分布于轴向旋转驱动电极所在圆环的外周，稳定线圈分布于悬浮线圈的外周；所述引脚沿着定子的径向引出；所述转子中心设有反射镜。本发明由于采用电磁悬浮结合静电驱动技术，实现子微镜的轴向大尺度旋转和径向旋转，实现三维成像，尤其是轴向±180度范围大旋转角度成像。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动电极 电磁悬浮 径向旋转 悬浮线圈 轴向旋转 微镜 环形分布 稳定线圈 外周 引脚 轴向 转子 公共电极 静电驱动 三维成像 转子中心 大尺度 反射镜 圆环 成像 | ||
【主权项】：
1.一种电磁悬浮微镜驱控系统，其特征在于，包括定子和转子，所述定子包括若干块轴向旋转驱动电极、若干块径向旋转驱动电极、公共电极、悬浮线圈、稳定线圈及引脚，若干块轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上，若干块径向旋转驱动电极呈环形分布于定子上，公共电极为圆形；悬浮线圈分布于轴向旋转驱动电极所在圆环的外周，稳定线圈分布于悬浮线圈的外周；所述引脚沿着定子的径向引出；所述转子中心设有反射镜。
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