[发明专利]用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体

摘要

一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，包括设在多晶铸锭炉炉身中的冷却散热板，在冷却散热板的中心处设有测温取样孔，在冷却散热板的下表面上铺满冷却管道，冷却管道设有一个进口和一个出口，在冷却散热板的下表面四周设有与炉身相接的防护板Ⅰ，在冷却散热板上表面的测温取样孔四周设有防护板Ⅱ。本发明通过在多晶铸锭炉炉身中设冷却散热板，冷却散热板的下表面上设有冷却管道，冷却管道中通入液体或惰性气体用于冷却，其冷却能力强，冷却速度加快；通过设置防护板Ⅰ和防护板Ⅱ可以防止坩埚破裂后料液从温取样孔或冷却散热板的四周流出，从而加强了防护，提高了其安全性。

主权项

一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：包括炉身和炉盖，炉身和炉盖的内壁和外壁之间均分别设有水冷夹层；在炉身的一侧设有炉盖提升柱，炉盖提升柱上套装有导向套筒，在炉盖提升柱的下端设有驱动炉盖提升柱上下运动的驱动机构，所述炉盖通过轴套安装在炉盖提升柱的上端；所述炉盖上设有检测口、预留口和若干进气口；所述炉身设有上端敞口的炉腔，在炉腔的底部设有若干冷却装置，在炉身的底部中心处设有与炉腔连通的的检测孔，在炉身的下部设有两个向外凸出、用于热交换控制器运动的容置腔，容置腔与炉腔连为一体，在炉身的下部还设有两个对称设置的抽真空出气口，在炉身的侧部和炉盖上分别设有数个铸锭炉加热组件接线放置腔。