[发明专利]用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体

权利要求书

1.一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：包括炉身和炉盖，炉身和炉盖的内壁和外壁之间均分别设有水冷夹层；在炉身的一侧设有炉盖提升柱，炉盖提升柱上套装有导向套筒，在炉盖提升柱的下端设有驱动炉盖提升柱上下运动的驱动机构，所述炉盖通过轴套安装在炉盖提升柱的上端；所述炉盖上设有检测口、预留口和若干进气口；所述炉身设有上端敞口的炉腔，在炉腔的底部设有若干冷却装置，在炉身的底部中心处设有与炉腔连通的的检测孔，在炉身的下部设有两个向外凸出、用于热交换控制器运动的容置腔，容置腔与炉腔连为一体，在炉身的下部还设有两个对称设置的抽真空出气口，在炉身的侧部和炉盖上分别设有数个铸锭炉加热组件接线放置腔。

2.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述炉腔为正方形，所述容置腔对称设在炉身的两侧。

3.根据权利要求2所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述抽真空出气口设在与容置腔相对的炉身两侧。

4.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述进气口设有1-4个。

5.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述炉盖的总厚度为40mm-100mm，炉身的总厚度为40-60mm。

6.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述驱动机构包括电机驱动旋转的丝杆，丝杆竖直设置，所述炉盖提升柱设有中空的柱体，在柱体内设有与丝杆配合的螺母。

7.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述冷却装置设有1-4个，每个冷却装置均设有冷却散热板，在冷却散热板的中心处设有测温取样孔，在冷却散热板的下表面上铺满冷却管道，冷却管道设有一个进口和一个出口，在冷却散热板的下表面四周设有与炉身底壁相接的防护板Ⅰ，在冷却散热板上表面的测温取样孔四周设有防护板Ⅱ。

8.根据权利要求7所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述防护板Ⅰ和防护板Ⅱ为保温硬毡板、陶瓷板、氧化铝板、氧化锆板或石墨板，高度为20mm-60mm。

9.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述冷却散热板为钼板或铜板，其厚度为20mm-60mm。

10.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述冷却管道为钼管或铜管，其内径为20mm-60mm。