[发明专利]一种面板定位系统及方法有效
申请号: | 201710255922.0 | 申请日: | 2017-04-18 |
公开(公告)号: | CN107064915B | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 来春荣 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | G01S11/12 | 分类号: | G01S11/12 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 马永芬 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种面板定位系统及方法,用于对待定位面板进行定位,所述面板定位系统包括:高能束发射装置,用于以扫描的方式向待定位面板发射高能束;谱线测定装置,用于确定出所述定位标记放射出的谱线;与所述谱线测定装置通信的控制器,用于根据所述高能束发射到所述待定位面板上的位置以及所述谱线测定装置确定出的定位标记确定所述定位标记的位置。通过测定待定位面板放射出的特定谱线的波长和强度进行定位,从而避免了由于待定位面板的上层膜、定位膜层或下层膜凹凸不平等异常而导致的定位失败,提高了定位的精确性,进而提高了待定位面板的利用率。 | ||
搜索关键词: | 一种 面板 定位 系统 方法 | ||
【主权项】:
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