[发明专利]显影液供应系统及显影液填充方法有效
| 申请号： | 201710242987.1 | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN108732873B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王忠诚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/32 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;王芝艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种显影液填充方法，该方法包括在一第一预设时间内，将一显影液填入一显影液供应系统的储存槽中。该方法还包括在接续第一预设时间的一第二预设时间内，停止将显影液填入储存槽中。该方法又包括判断储存槽是否被显影液填满，若否则重复执行上述等步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 供应 系统 填充 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显影液填充方法，包括：在一第一预设时间内，将一显影液填入一显影液供应系统的一储存槽中；在接续该第一预设时间的一第二预设时间内，停止将该显影液填入该储存槽中；以及判断该储存槽是否被该显影液填满，若否则重复执行上述该等步骤。
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