[发明专利]一种固定吸附式扫查器装置及调整方法有效
| 申请号： | 201710241865.0 | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN106970150B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 毛捷;宋波;冷涛;陈秋颖;安志武;马骥;韩炜;胡玲;闫冉;张逸君;廉国选 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01N29/06 | 分类号： | G01N29/06;G01N29/22 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种固定吸附式扫查器装置，包括：多组吸盘体单元、多组顶杆单元、探头组合体单元、汇集口单元、扫描轴单元、步进轴单元、呈平行状两根支撑轴及呈平行状两根导向轴。其中多组吸盘体单元呈线性分布。两根支撑轴分别套穿入多组顶杆单元，多组顶杆单元等距分布。探头组合体单元与扫描轴单元贴合连接。汇集口单元与多组吸盘体单元中的一组贴合连接。扫描轴单元与两根导向轴对接。步进轴单元与多组吸盘体单元中相邻两组吸盘体单元贴合并串接扫描轴单元。呈平行状两根支撑轴及呈平行状两根导向轴分布与多组吸盘体单元对接成固定框体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 吸附 式扫查器 装置 调整 方法 | ||
【主权项】：
一种固定吸附式扫查器装置，其特征在于，包括：多组吸盘体单元(1)、多组顶杆单元(2)、探头组合体单元(3)、汇集口单元(4)、扫描轴单元(5)、步进轴单元(6)、呈平行状两根支撑轴(7)及呈平行状两根导向轴(8)；其中，所述多组吸盘体单元(1)呈线性分布；所述两根支撑轴(7)分别套穿入所述多组顶杆单元(2)，所述多组顶杆单元(2)等距分布；所述探头组合体单元(3)与所述扫描轴单元(5)贴合连接；所述汇集口单元(4)与所述多组吸盘体单元(1)中的一组贴合连接；所述扫描轴单元(5)与所述两根导向轴(8)对接；所述步进轴单元(6)与所述多组吸盘体单元(1)中相邻两组吸盘体单元(1)贴合并串接所述扫描轴单元(5)；所述呈平行状两根支撑轴(7)及呈平行状两根导向轴(8)分布与所述多组吸盘体单元(1)对接成固定框体。
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