[发明专利]蒸镀系统有效
| 申请号： | 201710241120.4 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN106947941B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 邹清华 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 赵天月<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了蒸镀系统。该蒸镀系统包括：送料装置，所述送料装置包括：送料装置壳体，所述送料装置壳体内部限定出送料空间；进料口，所述进料口设置在所述送料装置壳体上；出料口，所述出料口设置在所述送料装置壳体上且远离所述进料口；推进单元，所述推进单元的至少一部分嵌入所述送料空间中，且用于推动所述送料空间中的原料由所述进料口向所述出料口移动；蒸发装置，所述蒸发装置与所述送料装置相连；以及储料装置，所述储料装置与所述送料装置的所述进料口相连。该蒸镀系统具有以下优点的至少之一：该蒸镀系统可以实现连续送料，进而提高生产效率，连续送料保证原料具有较好的一致性，无原料残留，且可以保持稳定的蒸发速率。 | ||
| 搜索关键词： | 送料装置 进料口 蒸镀系统 送料空间 出料口 壳体 储料装置 连续送料 推进单元 蒸发装置 壳体内部 生产效率 嵌入 蒸发 残留 移动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀系统，其特征在于，包括：/n送料装置，所述送料装置包括：/n送料装置壳体，所述送料装置壳体内部限定出送料空间；/n进料口，所述进料口设置在所述送料装置壳体上；/n出料口，所述出料口设置在所述送料装置壳体上且远离所述进料口；/n推进单元，所述推进单元的至少一部分嵌入所述送料空间中，且用于推动所述送料空间中的原料由所述进料口向所述出料口移动；/n蒸发装置，所述蒸发装置与所述送料装置相连；以及/n储料装置，所述储料装置与所述送料装置的所述进料口相连，/n所述推进单元被配置为可令所述送料空间内的物料，被持续地供给至所述蒸发单元中，/n所述送料装置进一步包括第一加热单元，所述第一加热单元用于对所述送料空间内部的原料进行加热；所述蒸发装置进一步包括第二加热单元，所述第二加热单元用于对蒸发空间内部的原料进行加热；所述储料装置进一步包括：漏斗形储料罐以及第三加热单元，所述第三加热单元与所述漏斗形储料罐相连。/n
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