[发明专利]用于图案组成的喷嘴出口轮廓以及使用所述轮廓的装置和方法在审
| 申请号： | 201710234006.9 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN107425141A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | E·范登蒂洛阿特;S·佩凯尔德;M·梅夫森;W·E·奎因;G·麦格劳;G·科塔斯 | 申请（专利权）人： | 环球展览公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 李琳 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请案涉及用于图案组成的喷嘴出口轮廓以及使用所述轮廓的装置和方法。提供一种沉积喷嘴，其包含偏移的沉积孔口，所述偏移的沉积孔口安置于所述沉积孔口的任一侧上的排气孔口之间。所述所提供的喷嘴布置允许利用适合用于例如OLED等装置中的沉积型面来沉积材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 图案 组成 喷嘴 出口 轮廓 以及 使用 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于将材料沉积到衬底上的装置，所述装置包括：沉积喷嘴，其包括：第一排气孔口；第二排气孔口；第一沉积孔口，其安置于所述第一排气孔口和所述第二排气孔口之间且相比于所述第二孔口更接近所述第一排气孔口；以及第二沉积孔口，其安置于所述第一排气孔口和所述第二排气孔口之间且相比于所述第一排气孔口更接近所述第二排气孔口，其中所述第二沉积孔口沿着所述喷嘴的轴从所述第一沉积孔口偏移。
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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