[发明专利]用于良品率预测反馈的设备、系统和方法有效
| 申请号： | 201710224894.6 | 申请日： | 2009-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN107479509B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 詹姆士·莫尼;尼古拉斯·沃德;理查德·斯塔福德 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 良品率预测由安排及分派控制器接收，其中该良品率预测有关于制造工具和产品。基于该良品率预测在路由算法中调整该制造工具的权重。计算成本‑利润分析，其确定在该制造工具上制造将来产品的成本和利润；以及基于该成本‑利润分析，决定是否在该制造工具上处理将来产品。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 设备 工程 系统 良品率 预测 反馈 | ||
【主权项】：
1.一种用于良品率预测反馈的设备，包括：/n计算装置，所述计算装置包括执行用于批次间控制器的指令的处理器，其中所述指令使所述处理器：/n接收良品率预测，其中所述良品率预测与制造工具、产品或过程中至少之一相关联；/n基于所述良品率预测，通过过程内批次间控制模块调整与过程内批次间控制相关联的第一参数，其中所述第一参数包括过程配方的处理参数，其中所述批次间控制器包括指定不同过程之间的过程间性能目标的过程间批次间控制模块，其中所述良品率预测包括良品率预测质量值；以及/n基于所述良品率预测和所述良品率预测质量值的组合确定所述第一参数的调整，其中调整程度随着所述良品率预测质量值减小而减小。/n
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