[发明专利]一种匀光棒固定装置有效
| 申请号： | 201710217092.2 | 申请日： | 2017-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN106842828B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 宁震坤;程珂 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种匀光棒固定装置，属于直写曝光机技术领域。所述匀光棒固定装置包括开设有通孔的软质支撑体，所述软质支撑体硬度为邵氏硬度50‑80；所述通孔在轴向方向上全部长度或部分长度为圆柱形的接触支撑孔，所述接触支撑孔的孔径小于所安装固定匀光棒横截面外接圆直径。本发明解决了现有技术匀光棒安装固定时易出现漏光，导致通光率低、光均匀性差等问题，也解决了现有技术中采用刚性安装时易发生匀光棒损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 匀光棒 固定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种匀光棒固定装置，其特征在于，包括开设有通孔的软质支撑体，所述软质支撑体的材质为邵氏硬度为55‑65的聚四氟乙烯；所述通孔在轴向方向上的全部或部分为圆柱形的接触支撑孔，接触支撑孔对匀光棒起到直接支撑固定作用，所述接触支撑孔的孔径小于所安装固定的匀光棒横截面外接圆直径；所述软质支撑体包括1个通孔，通孔内设置有1个或多个接触支撑孔，所述通孔内接触支撑孔以外部分为非接触孔，所述非接触孔为圆柱形孔，与接触支撑孔共轴，其孔径大于所安装固定匀光棒横截面外接圆直径；所述通孔的长度等于匀光棒的长度，所述接触支撑孔的一端或两端设置有孔口倒角，所述倒角角度为30°‑45°；所述软质支撑体横截面圆直径为接触支撑孔孔径2‑3倍；所述接触支撑孔的截面圆圆度不大于2，所述接触支撑孔的垂直度小于0.05mm。
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