[发明专利]一种匀光棒固定装置

说明书

本发明公开了一种匀光棒固定装置，属于直写曝光机技术领域。所述匀光棒固定装置包括开设有通孔的软质支撑体，所述软质支撑体硬度为邵氏硬度50‑80；所述通孔在轴向方向上全部长度或部分长度为圆柱形的接触支撑孔，所述接触支撑孔的孔径小于所安装固定匀光棒横截面外接圆直径。本发明解决了现有技术匀光棒安装固定时易出现漏光，导致通光率低、光均匀性差等问题，也解决了现有技术中采用刚性安装时易发生匀光棒损坏的问题。

技术领域

本发明涉及一种匀光棒固定装置，属于直写曝光机技术领域。

背景技术

匀光棒是一种矩形截面的光学玻璃器件，其作用是利用光的全反射原理，光在光棒里面经过多次反射，每次反射都会形成虚拟光源像，多次反射形成二维的虚拟光源矩阵，从而使得光更加的均匀，使通过自身的光线，在出口处达到均匀化的效果。

匀光棒是一种小型、易碎的玻璃器件，而且由于其工作原理的限制，要求工作时其侧面尽可能多地接触空气，以获得最大的通光率，因此，在匀光棒的安装固定上有特定的要求，既要求匀光棒的安装稳定性，又要求其安装固定不易对匀光棒造成损坏，更要求匀光棒与固定装置的接触面积尽可能小，以减少漏光，提高能光率。

现有技术的匀光棒的安装方式多为采用螺钉压块固定，固定装置与匀光棒接触面比较多，在使用过程中，由于匀光棒的四个侧面与零件接触位置多，光线在接触面上不能形成全反射，不但影响到匀光效果，而且造成光能损失；固定装置和匀光棒之间是刚性接触，在工作过程中，由于匀光棒和固定装置长时间接受激光照射，其温度会有较大程度的改变，在热胀冷缩的情况下，固定装置和匀光棒之间会产生很大的应力，容易造成匀光棒的损坏；螺钉安装扭矩大小不容易控制，容易造成匀光棒损伤，匀光作用就失效了。

因此，需要开发一种新的技术，以解决现有技术中存在的问题。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种匀光棒固定装置，所述匀光棒固定装置包括开设有通孔的软质支撑体，所述软质支撑体硬度为邵氏硬度50-80；所述通孔在轴向方向上全部或部分为圆柱形的接触支撑孔，接触支撑孔对匀光棒起到直接支撑固定作用，所述接触支撑孔的孔径小于所安装固定的匀光棒横截面外接圆直径。

在本发明的一种实施方式中，所述接触支撑孔的孔径为所安装固定的匀光棒横截面外接圆直径的0.99-0.995倍。

在本发明的一种实施方式中，所述通孔的空间区域包含接触支撑孔的全部空间区域以及在通孔长度范围内接触支撑孔的轴向上的延伸空间区域的全部。

在本发明的一种实施方式中，所述通孔的长度等于匀光棒的长度，所述接触支撑孔的一端或两端设置有孔口倒角，所述倒角角度为30°-45°。

在本发明的一种实施方式中，所述软质支撑体包括1个通孔，通孔内设置有1个或多个接触支撑孔，所述通孔内接触支撑孔以外部分为非接触孔，所述非接触孔为圆柱形孔，与接触支撑孔共轴，其孔径大于所安装固定匀光棒横截面外接圆直径。

在本发明的一种实施方式中，所述软质支撑体为圆柱体，通孔位于软质支撑体中心，通孔内的接触支撑孔与软质支撑体共轴；所述软质支撑体横截面圆直径为接触支撑孔孔径2-3倍。

在本发明的一种实施方式中，所述匀光棒固定装置还包括外部支撑结构，外部支撑结构材质为硬质材料，如铝合金、不锈钢；所述软质支撑体位于外部支撑结构内部。

在本发明的一种实施方式中，所述外部支撑结构为圆柱体，软质支撑体连接于外部支撑结构内，与外部支撑结构共轴；

在本发明的一种实施方式中，所述外部支撑结构和软质支撑体的连接方式为镶嵌连接、螺纹连接或法兰连接。

在本发明的一种实施方式中，所述外部支撑结构上设置有连接法兰。

在本发明的一种实施方式中，所述软质支撑体的材质为邵氏硬度为55-65的聚四氟乙烯。