[发明专利]一种柔性电容式湿度传感器及其制备方法有效
申请号: | 201710216996.3 | 申请日: | 2017-04-05 |
公开(公告)号: | CN106841331B | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 姚尧;张慧;马文英;李蠡;凌味未;魏华;黄铫;陈功;杜江 | 申请(专利权)人: | 成都信息工程大学 |
主分类号: | G01N27/22 | 分类号: | G01N27/22 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 韩雪 |
地址: | 610225 四川省成都市双*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性电容式湿度传感器,其特征在于:包括柔性衬底(1)、电极(2)和湿敏材料层(4);所述电极(2)设置在柔性衬底(1)的一个表面上,柔性衬底(1)相对的另一个表面上设置有湿敏材料层(4),电极(2)和湿敏材料层(4)通过柔性衬底(1)隔开;所述电极(2)由导线引出。本发明柔性电容式湿度传感器,采用背面涂覆敏感材料的方式,以及电极保护层的设置,既能防止电极吸附水气之后被氧化,又能防止电极吸附水气对测量造成误差,提高测量的准确性,延长传感器的使用寿命,增强传感器的稳定性;同时所采用的PET材料柔软度好,可以任意弯曲,适用于多个领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 电容 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性电容式湿度传感器,其特征在于:包括柔性衬底(1)、电极(2)和湿敏材料层(4);所述电极(2)设置在柔性衬底(1)的一个表面上,柔性衬底(1)相对的另一个表面上设置有湿敏材料层(4),电极(2)和湿敏材料层(4)通过柔性衬底(1)隔开;所述电极(2)由导线引出。
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