[发明专利]一种可调谐MOEMS滤光片

摘要

本发明公开了一种可调谐MEMOS滤光片，包括悬臂梁、可动镜面Si支撑结构、两层反射膜、F‑P腔和衬底；其中所述两层反射膜分别位于衬底上部和可动镜面Si支撑结构下部，用于形成F‑P腔，使得光在两层反射膜之间产生多次反射后选择出波长满足干涉极大条件的光谱，从而实现通带滤光的作用；所述悬臂梁位于衬底上方和所述可动镜面Si支撑结构侧边，在可动镜面Si支撑结构与衬底之间的静电力作用下产生弯曲变形，并与弹性恢复力达到平衡，导致可动镜面Si支撑结构可随着悬臂梁的弯曲变形而平行向下移动，从而调节所述F‑P腔的间距，以便调节光通带中心波长。此外还公开可调谐MEMOS滤光片的调谐控制器和封装结构。

主权项

一种可调谐MEMOS滤光片，包括：悬臂梁(501)、可动镜面Si支撑结构(502)、两层反射膜(503)、F‑P腔(506)和衬底(510)；其中所述两层反射膜(503)分别位于衬底(510)上部和可动镜面Si支撑结构(502)下部，用于形成F‑P腔(506)，使得光在两层反射膜(503)之间产生多次反射后选择出波长满足干涉极大条件的光谱，从而实现通带滤光的作用；所述悬臂梁(501)位于衬底510上方和所述可动镜面Si支撑结构502侧边，在可动镜面Si支撑结构502与衬底510之间的静电力作用下产生弯曲变形，并与弹性恢复力达到平衡，导致可动镜面Si支撑结构502可随着悬臂梁501的弯曲变形而平行向下移动，从而调节所述F‑P腔的间距，以便调节光通带中心波长。