[发明专利]复合颗粒、其精制方法及用途有效
| 申请号： | 201710209582.8 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107267118B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 周鸿君;J·E·Q·休斯;K·P·穆雷拉;R·M·玛查多;M·L·奥尼尔;D·C·坦姆伯利 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具有较低平均粒度和较小粒度分布的复合颗粒通过精制处理获得。精制的复合颗粒(例如二氧化铈涂覆二氧化硅颗粒)用于化学机械平面化(CMP)组合物中以为抛光氧化物膜提供更高的去除速率、极低晶片内的去除速率不均匀性(WWNU)、低凹陷和低缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 颗粒 精制 方法 用途 | ||
【主权项】：
精制复合颗粒，其包含单一的二氧化铈涂覆二氧化硅颗粒和聚集的二氧化铈涂覆二氧化硅颗粒，其中少于1重量％的所述复合颗粒是包含≥5个单一的二氧化铈涂覆二氧化硅颗粒的聚集的二氧化铈涂覆二氧化硅颗粒。
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