[发明专利]压印设备、压印方法、制造物品的方法及模具在审
| 申请号： | 201710204426.2 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107272330A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 林达也;中川一树;村上洋介 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 贾金岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于通过使用包括图案化部分的模具在基板的处理区域上形成压印材料的图案的压印设备和压印方法、制造物品的方法以及在该压印设备中使用的模具。该压印设备包括加热单元。加热单元加热基板使得处理区域与图案化部分之间的形状差异减小并且加热模具使得模具与加热的基板之间的温度差减小。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 设备 方法 制造 物品 模具 | ||
【主权项】：
一种用于通过使用包括图案化部分的模具在基板的处理区域上形成压印材料的图案的压印设备，所述压印设备包括：加热单元，所述加热单元被配置成加热模具和基板，其中，加热单元加热基板使得处理区域与图案化部分之间的形状差异减小，并且其中，加热单元加热模具使得模具与加热过的基板之间的温度差减小。
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