[发明专利]样品传送装置及超高真空传输设备在审
申请号: | 201710197583.5 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN107082284A | 公开(公告)日: | 2017-08-22 |
发明(设计)人: | 蓝剑越;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;陈科蓓;张春玉;徐科 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | B65G54/02 | 分类号: | B65G54/02;B65G35/00 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种样品传送装置及超高真空传输设备,所述样品传送装置包括轨道,以及沿所述轨道延伸方向,分设于所述轨道两侧的引导轨;与所述两个引导轨分别对应的两个悬浮架,所述引导轨和/或悬浮架上设置有电磁机构,所述电磁机构用于提供所述悬浮架悬浮的作用力;设置在悬浮架和引导轨上的驱动电机,用于驱动所述悬浮架沿所述引导轨运动;样品室,连接至所述两个悬浮架。本发明的优点在于,解决了在真空设备中样品的传送距离过短,摩擦阻力过大等问题,实现了在真空设备中样品无阻畅通地传送的目的。 | ||
搜索关键词: | 样品 传送 装置 超高 真空 传输 设备 | ||
【主权项】:
一种样品传送装置,其特征在于,包括: 轨道,以及沿所述轨道延伸方向,分设于所述轨道两侧的引导轨; 与所述两个引导轨分别对应的两个悬浮架,所述引导轨和/或悬浮架上设置有电磁机构,所述电磁机构用于提供所述悬浮架悬浮的作用力;设置在悬浮架和引导轨上的驱动电机,用于驱动所述悬浮架沿所述引导轨运动; 样品室,连接至所述两个悬浮架。
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