[发明专利]样品传送装置及超高真空传输设备在审
| 申请号： | 201710197583.5 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN107082284A | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 蓝剑越;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;陈科蓓;张春玉;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B65G54/02 | 分类号： | B65G54/02;B65G35/00 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品 传送 装置 超高 真空 传输 设备 | ||
1.一种样品传送装置，其特征在于，包括： 轨道，以及沿所述轨道延伸方向，分设于所述轨道两侧的引导轨； 与所述两个引导轨分别对应的两个悬浮架，所述引导轨和/或悬浮架上设置有电磁机构，所述电磁机构用于提供所述悬浮架悬浮的作用力；
设置在悬浮架和引导轨上的驱动电机，用于驱动所述悬浮架沿所述引导轨运动； 样品室，连接至所述两个悬浮架。
2.根据权利要求1所述的样品传送装置，其特征在于，还包括设置在所述引导轨或悬浮架上的气隙传感器，所述气隙传感器用于控制所述悬浮架的悬浮高度。
3.根据权利要求1所述的样品传送装置，其特征在于，所述悬浮架凹设有安装槽，所述引导轨配合于所述安装槽内。
4.根据权利要求3所述的样品传送装置，其特征在于，所述驱动电机分别设置于所述引导轨上表面、以及所述安装槽的对应内侧表面上。
5.根据权利要求4所述的样品传送装置，其特征在于，所述电磁机构设置于所述悬浮架安装槽与所述引导轨下表面对应的内侧表面上。
6.根据权利要求1所述的样品传送装置，其特征在于，所述引导轨为F形轨道，和/或所述引导轨与所述轨道固定连接。
7.根据权利要求1所述的样品传送装置，其特征在于，还包括一轨道底座，所述轨道设置在所述轨道底座上方且与所述轨道底座连接以支撑所述轨道。
8.根据权利要求1所述的样品传送装置，其特征在于，所述驱动电机为直线电机。
9.根据权利要求1所述的样品传送装置，其特征在于，所述悬浮架与所述样品室通过一连接器可拆卸连接。
10.一种超高真空传输设备，其特征在于，包括样品传送室以及位于所述样品传送室内如权利要求1-9任一项所述的样品传送装置。
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