[发明专利]多层石墨烯光电传感器

摘要

本发明公开一种多层石墨烯光电传感器，在石墨烯层之间交替分别形成锡化锗层和硅化锗层，由于石墨烯层的导电性，使得锡化锗层和硅化锗层中产生的载流子能够立即通过石墨烯传导至金属电极，并且交替设置的锡化锗层和硅化锗层经光照能够在结构中产生了内建电场，进一步加速了载流子的收集，另外多层结构更能充分利用照射到的光，使得传感器的灵敏度得到了很大的提升。

主权项

1.一种多层石墨烯光电传感器，其特征在于，包含：基板，所述基板为绝缘性基板； 多个石墨烯层，所述多个石墨烯层分为多个奇数层石墨烯和多个偶数层石墨烯，其中所述偶数层石墨烯与下一层的奇数层石墨烯之间形成有锡化锗层，所述偶数层石墨烯与上一层的奇数层石墨烯之间形成有硅化锗层；所述多个奇数层石墨烯的位置在垂直方向上投影重叠，所述多个偶数层石墨烯的位置也在垂直方向上投影重叠，所述奇数层石墨烯和偶数层石墨烯在水平方向上交错设置，且所述锡化锗层和所述硅化锗层只在交错位置上形成；所述奇数层石墨烯和所述偶数层石墨烯中的非交错位置部分分别形成金属电极；所述石墨烯层的表面还形成有硅量子点或碳量子点；所述基板为柔性衬底。