[发明专利]一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201710184003.9 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106885549A | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 梁志凡 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备，用以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，本申请提供的一种导向管，用于薄膜厚度传感器，所述导向管中空，包括蒸镀物入口和蒸镀物出口；其中，所述蒸镀物入口的截面积大于所述蒸镀物出口的截面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导向 薄膜 厚度 传感器 设备 | ||
【主权项】：
一种导向管，用于薄膜厚度传感器，其特征在于，所述导向管中空，包括：蒸镀物入口和蒸镀物出口；其中，所述蒸镀物入口的截面积大于所述蒸镀物出口的截面积。
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