[发明专利]一种基于双通道的露点测量装置

摘要

本发明提供一种基于双通道的露点测量装置，它是由敏感单元、制冷单元和散热单元组成；在基于双通道的露点测量装置中敏感单元位于顶层，中间为制冷单元，下面为散热单元；敏感单元由四氟卡槽固定在制冷单元的冷面，散热单元与制冷单元的热面紧密相连；本发明通过主动控温与石英晶体微天平技术即QCM技术相结合的方法实现露点温度的测量，并通过频率差分的方法去除了测量过程中温度对QCM频率的影响，提高了测量的精度。该装置具有测量速度快，灵敏度高，精度高的特点。

主权项

一种基于双通道的露点测量装置，其特征在于：，它是由敏感单元，制冷单元，散热单元组成；它们之间的相互关系为：在基于双通道的露点测量装置中敏感单元位于顶层，中间为制冷单元，下面为散热单元，敏感单元由四氟卡槽固定在制冷单元的冷面，散热单元与制冷单元的热面紧密相连；所述敏感单元由参考通道和测量通道两部分组成；参考通道和测量通道相互独立，并行放置于半导体制冷片的冷面；该参考通道由石英晶体微天平即QCM、环形导热垫和铂电阻组成；该QCM位于环形导热垫的上表面由四氟卡槽进行固定，铂电阻内嵌于环形导热垫内靠近于QCM下表面的位置，实验中参考通道由四氟顶盖盖严密封；该测量通道由石英晶体微天平即QCM、环形导热垫和铂电阻组成；该QCM位于环形导热垫的上表面由四氟卡槽进行固定，铂电阻内嵌于环形导热垫内靠近于QCM下表面的位置，实验中测量通道通过快插头与外部相连通不同露点的气体；所述制冷单元为半导体制冷片；所述散热单元由铜槽和水道组成，铜槽位于水道上方用于放置制冷单元；该铜槽尺寸与制冷单元即半导体制冷片相同；该水道两侧通过快插头与外界水管相连通冷水散热。