[发明专利]波长移相中基于FAST‑ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法

摘要

本发明涉及一种波长移相中基于FAST‑ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法。本发明在波长移相干涉测量获得的超薄平行平板干涉信号后利用盲信号分离技术，引入FAST‑ICA算法，通过快速迭代算法分离超薄平板前后表面干涉条纹，然后通过时域移相算法处理分离后的干涉条纹，从而得到前后表面的面形信息。该方法主要针对波长移相中超薄平行平板的条纹图处理，为这类超薄平板前后表面信息分离提供了一种方法，可用于实现超薄平板前后表面面形的分离测量。

主权项

一种波长移相中基于FAST‑ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法，其特征在于，由以下步骤实现：步骤一：波长移相干涉仪通过波长调谐测量超薄平行平板，得到包含前后表面面形信息的一系列波长移相干涉图；步骤二：根据像素列出时域序列干涉信号，对序列干涉信号去均值化：首先求出干涉信号的均值，然后将干涉信号减去均值，得到去均值化后的干涉信号；步骤三：利用白化矩阵将均值化后的干涉信号进行白化；步骤四：根据独立分量提取算法，利用分离矩阵处理白化后的去均值信号；步骤五：判断是否收敛：如果收敛，则分离矩阵已最优，即得到待分离的前后表面干涉信号，执行第六步；如果不收敛，则分离矩阵不是最优，需要重新优化分离矩阵，再返回第四步；步骤六：将分离后的前后表面干涉信号利用时域移相算法，计算求解得到前后表面面形。