[发明专利]一种基于共角干涉的层析相位显微方法与装置有效
| 申请号： | 201710157823.9 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN106872469B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 刘旭;刘秋兰;匡翠方;修鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 33224 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑红莉<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于共角干涉的层析相位显微装置和方法，包括依次布置的激光器、扫描振镜系统和第一分束器，由第一分束器将激光束分成参考光和样品光：设有沿样品光路依次布置的：照明物镜，用于使照明光变成平行光照明样品；成像物镜，用于接收样品反射的样品光；设有沿参考光路依次布置的：第一反射镜，通过周期性移动自身位置来改变参考光路光程；补偿器，用于补偿参考光路与样品光路间的光程差；第二分束器，用于将参考光和样品反射的样品光进行合束；和图像采集单元，用于记录参考光与样品光产生的干涉图像；还包括计算机，根据在第一反射镜每个周期内多次扫描样品记录得到多个干涉图像包，解出对应该周期内的样品三维折射率分布图。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 干涉 层析 相位 显微 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于共角干涉的层析相位显微装置，包括依次布置的激光器、扫描振镜系统和第一分束器，由所述第一分束器将激光束分成参考光和样品光，其特征在于：/n设有沿样品光路依次布置的：/n照明物镜，用于使照明光变成平行光照明样品；/n成像物镜，用于接收样品反射的样品光；/n设有沿参考光路依次布置的：/n活动的第一反射镜，通过周期性移动其位置来改变参考光路光程；/n补偿器，所述的补偿器为由若干玻璃片堆叠而成的玻璃堆，用于补偿参考光路与样品光路间的光程差；/n第二分束器，用于将参考光和样品反射的样品光进行合束；样品光和参考光经场镜后形成与光轴成相同角度的平行参考光和样品光，平行参考光和样品光经过偏振片后入射到放置于所述场镜前焦面上的CCD上产生干涉进行成像；/n和图像采集单元，用于记录参考光与样品光产生的干涉图像；/n还包括计算机，根据在第一反射镜每个周期内多次扫描样品记录得到/n多个干涉图像包，解出对应该周期内的样品三维折射率分布图。/n
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