[发明专利]磁传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201710154164.3 | 申请日： | 2017-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN107192969A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 飞冈孝明;海老原美香;高桥宽;岸松雄;高浜未英 | 申请（专利权）人： | 精工半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/07 | 分类号： | G01R33/07;G01R3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 叶培勇,付曼 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供磁传感器及其制造方法。磁传感器具备在表面具备霍尔元件的半导体衬底；设在半导体衬底的背面上的导电层；以及设在导电层上的磁会聚板。磁会聚板通过在半导体衬底的背面上形成基底导电层，并在基底导电层上形成具有磁会聚板形成用的开口的抗蚀剂，利用电解镀在抗蚀剂的开口内形成磁会聚板，再除去抗蚀剂，以磁会聚板为掩模蚀刻除去基底导电层的一部分而形成在半导体衬底的背面上。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种磁传感器，其中具备：在表面具备霍尔元件的半导体衬底；设在所述半导体衬底的背面上的导电层；以及设在所述导电层上的磁会聚板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工半导体有限公司，未经精工半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710154164.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
