[发明专利]一种同时测量霍尔系数和塞贝克系数的装置及方法

摘要

本发明属于半导体材料测试技术领域，具体涉及一种同时测量霍尔系数和塞贝克系数的装置及方法，该装置包括直行滑轨、磁铁组、测试探针和主加热器，直行滑轨两端分别放置有一个磁铁架，每个磁铁架上各设置有一对相同磁铁组，主加热器设置在直行滑轨的上方，待测样品放置在主加热器表面的两片陶瓷片副加热器上，主加热器上还设置有测试探针，电机驱动直行滑轨移动。本发明还公开了采用上述装置测量霍尔系数和塞贝克系数的方法。本发明有效的解决了塞贝克系数测量中对测量形状要求高的问题，能够测量不同大小形状的材料，也实现了在不同温度下的霍尔系数和塞贝克系数的测量，实现了自动化操作，测试精度高。

主权项

1.一种同时测量霍尔系数和塞贝克系数的装置，其特征在于，其包括直行滑轨(1)、磁铁组(3,21)、测试探针(11,12,13，14)和主加热器(9)，所述直行滑轨(1)两端分别放置有一个磁铁架(2,22)，每个磁铁架上各设置有一对相同磁铁组，所述磁铁组(3,21)包括两个永久强磁铁，所述两个永久强磁铁相隔一定距离以N‑S方式相对放置，所述磁铁组(3,21)产生大小相同、方向相反的磁场；在直行滑轨(1)的上方，设置有一个主加热器(9)，两片陶瓷片副加热器(8,16)相隔一定距离嵌在所述主加热器(9)表面中间，待测样品放置在两片陶瓷片副加热器(8,16)上，所述主加热器(9)的四个对角上分别设置有探针旋钮(10,12,15,17)，所述探针旋钮(10,12,15,17)将测试探针(11,12,13，14)的一端固定，用于调节测试探针(11,12,13，14)的位置，所述测试探针(11,12,13，14)的另一端分别位于样品表面的四个对角上，用于测量样品的冷端与热端温度，所述主加热器(9)、陶瓷片副加热器(8,16)、探针旋钮(10,12,15,17)、测试探针(11,12,13，14)和样品均置于隔热罩(5)内，所述直行滑轨(1)的一端与电机(25)连接，电机驱动直行滑轨(1)移动，随着直行滑轨(1)的移动，所述隔热罩(5)中的待测样品在两个磁铁组(3,21)之间运动，待测样品所受到的磁场发生变化。