[发明专利]一种智能强激光防护镜在审
申请号: | 201710148013.7 | 申请日: | 2017-03-13 |
公开(公告)号: | CN108572468A | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 张东平;范平;吴敏敏 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种智能强激光防护镜,其基本结构包含一个镀有一层TiO1‑xNx薄膜的衬底、在衬底上镀有一层VO2薄膜,在VO2薄膜外面镀有保护膜。当强激光照射时,由于TiOxN1‑x薄膜(2)吸收较大,吸收激光能量后温度迅速升高,达到其表面的二氧化钒膜层(3)的相变温度发生相变,光学透射率发生突变,由开始的高透射变为高反射,避免光电探测器受到损伤。由于VO2膜层(3)在空气中容易由于氧化等原因性能劣变,所以在VO2薄膜层表面再制备保护层(4)。该智能强激光防护镜可以安装在光电探测器上,在强激光辐照时自动反射强激光,保护光电探测器。 | ||
搜索关键词: | 强激光 薄膜 光电探测器 防护镜 衬底 智能 二氧化钒膜层 吸收激光能量 薄膜层表面 光学透射率 强激光辐照 保护层 保护膜 高反射 高透射 膜层 制备 反射 突变 照射 升高 损伤 吸收 | ||
【主权项】:
1.一种智能强激光防护镜,其特征在于包含衬底(1),TiOxN1‑x薄膜层(2),VO2薄膜层(3),表面保护膜层(4)。
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