[发明专利]一种多晶硅铸锭快速退火工艺

摘要

一种多晶硅铸锭快速退火工艺，硅料经铸锭工艺中的加热、熔化、长晶工序后进入退火冷却，其中退火时间为60~120min，加热方式分为功率控制和温度控制，隔热笼开度为5~17mm；所述的加热方式的功率控制为0~25%，温度控制为1350~1400℃；所述的退火共分为四个步骤，分别记为A1、A2、A3和A4。通过改变加热方式和隔热笼开度，在不增加晶锭尾部应力的情况下，实现对晶锭头部的退火降温，并且减少晶锭在高温退火时间，本发明较正常铸锭工艺时间缩短了67~176min，能耗减少68~102Kw•h，收益率提高1.44~1.98%。本发明工艺设计合理、操作简单，不仅能减少铸锭时间、节省能耗，而且能提升晶锭质量和生产效率。

主权项

一种多晶硅铸锭快速退火工艺，硅料经铸锭工艺中的加热、熔化、长晶工序后进入退火冷却，其特征在于，所述退火冷却的退火时间为60~120min，退火冷却的加热方式包括功率控制和温度控制，所述的加热方式的功率控制为0~25%，所述的加热方式的温度控制为1350~1400℃；所述的退火冷却在多晶硅铸锭炉中进行，多晶硅铸锭炉中的隔热笼开度为5~17mm；所述的退火冷却包括四个步骤，分别记为冷却A1、冷却A2、冷却A3和冷却A4；所述的冷却A1时间为0~30min，加热方式为温度控制，TC1温度为1390~1400℃，隔热笼开度为10~17mm；所述的冷却A2时间为10~30min，加热方式为温度控制，TC1温度为1350~1370℃，隔热笼开度为10~17mm；所述的冷却A3时间为10~30min，加热方式为功率控制，加热功率为0~25%，隔热笼开度为5~14mm；所述的冷却A4时间为10~30min，加热方式为功率控制，加热功率为0~10%，隔热笼开度为5~14mm。