[发明专利]一种多晶硅铸锭快速退火工艺在审
| 申请号： | 201710145698.X | 申请日： | 2017-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN106835287A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 胡江峰;胡超;宋丽平;董朝龙;雷杰;张泽兴;黄林;张珩琨;许桢 | 申请（专利权）人： | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司36115 | 代理人： | 李炳生 |
| 地址： | 332000 江西省九*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 快速 退火 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅铸锭快速退火工艺，硅料经铸锭工艺中的加热、熔化、长晶工序后进入退火冷却，其特征在于，所述退火冷却的退火时间为60~120min，退火冷却的加热方式包括功率控制和温度控制，所述的加热方式的功率控制为0~25%，所述的加热方式的温度控制为1350~1400℃；所述的退火冷却在多晶硅铸锭炉中进行，多晶硅铸锭炉中的隔热笼开度为5~17mm；
所述的退火冷却包括四个步骤，分别记为冷却A1、冷却A2、冷却A3和冷却A4；
所述的冷却A1时间为0~30min，加热方式为温度控制，TC1温度为1390~1400℃，隔热笼开度为10~17mm；
所述的冷却A2时间为10~30min，加热方式为温度控制，TC1温度为1350~1370℃，隔热笼开度为10~17mm；
所述的冷却A3时间为10~30min，加热方式为功率控制，加热功率为0~25%，隔热笼开度为5~14mm；
所述的冷却A4时间为10~30min，加热方式为功率控制，加热功率为0~10%，隔热笼开度为5~14mm。
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