[发明专利]直写式光刻机中倾斜式扫描数据的重组方法

摘要

本发明涉及一种重组方法，尤其是一种直写式光刻机中倾斜式扫描数据的重组方法，属于直写式光刻机倾斜式数据处理的技术领域。本发明根据倾斜因子，对倾斜数据进行变换重组，在FGA内利用RAM进行数据存储，实现所需数据的写入与读取，能降低硬件制造成本，提高数据变换重组的速度，从而有效提高曝光分辨率以及生产产能。

主权项

一种直写式光刻机中倾斜式扫描数据的重组方法，其特征是：所述方法包括如下步骤：步骤1、对1920*1080P的数字微镜芯片DMD，根据倾斜因子K，得到倾斜数据的数据总量为2048*K，其中，每个倾斜数据的位宽为256位，每个倾斜数据分成K组，每组数据为256/K位，K＝2n,n＝1,2,3，……，8；在FPGA内选取K个用于数据暂存的RAM；步骤2、将上述倾斜数据中前4*K个256位数据中的所有第一个(256/K)位数据，组成待写入数字微镜芯片DMD中第一行前1024个镜片中的第一行前1024位数据；将上述倾斜数据中后4*K个256位数据中的所有第一个(256/K)位数数据，组成待写入数字微镜芯片DMD中第一行后1024个镜片中的第一行后1024位数据；将上述倾斜数据中前4*K个256位数据中的所有第二个(256/K)位数据，组成待写入数字微镜芯片DMD中第二行前1024个镜片中的第二行前1024位数据，并将上述倾斜数据中后4*K个256位数据中的所有第二个(256/K)位数据，组成待写入数字微镜芯片DMD中第二行后102个镜片中的第二行后1024位数据；重复上述数据组成方式，直至将所有的倾斜数据与数字微镜芯片DMD中K行镜片的前1024个镜片、后1024个镜片一一对应；步骤3、将上述数字微镜芯片DMD中第一行的2048位数据中，划分成64个256位数据，并根据划分的64个256位数据得到数字微镜芯片DMD中第一行2048位数据；其中，第一行的第一个256位数据由第一个256位数据至第(K/2)个256位数据中对应的第一个(256/K)位数据、以及第(1+4K)个256位数据至第(K/2+4K)个256位数据对应的第一个(256/K)位数据组成；第一行的第二个256位数据由第(1+K/2)位数据至第(K)个256位数据中对应的第一个(256/K)位数据、以及第(1+9K/2)个256位数据至第(5K)个256位数据对应的第一个(256/K)位数据组成；重复上述数据操作，直至得到数字微镜芯片DMD中第一行所有的256位数据，以及数字微镜芯片DMD中第K行所有的256位数据；步骤4、对上述数字微镜芯片DMD中K行所有的256位数据中，划分得到前32个256位数据与后32位256数据；其中，对数字微镜芯片DMD第一行的前32个256位数据，第一个256位数据中所包含的K个(256/K)位数据分别写入K个RAM的第一个地址区域，第二个256位数据中所包含的K个(256/K)位数据分别写入K个RAM的第二个地址区域，重复所述写入操作，直至第32个256位数据中所包含的K个(256/K)位数据分别写入K个RAM的第三十二个地址区域；对数字微镜芯片DMD第一行的后32个256位数据，第33个256位数据中所包含的K个(256/K)位数据分别写入K个RAM的第三十三个地址区域，第34个256位数据中所包含K个(256/K)位数据分别写入K个RAM的第三十四个地址区域，重复所述写入操作，直至第64个256数据中所包含的K个(256/K)位数据分别写入第六十四位地址区域；第33个256位数据写入K个RAM中的数据顺序与第一个256位数据写入K个RAM中的数据顺序相差四组数据；当(K/2)<32时，对前32个256位数据或后32个256位数据，每间隔(K/2)个256位数据在K个RAM中写入顺序相同，在(K/2)个256位数据中，相邻写入K个RAM中的数据顺序存在一组数据的错位；重复上述数据操作，直至将K行所有的256位数据均写入K个RAM中；步骤5、根据上述数据写入的方式，在一个时钟下，同时读取K个RAM中存取的数据，以得到数字微镜芯片DMD中一行镜片中每个镜片所需写入的256位数据；重复上述数据写入操作，直至将数字微镜芯片DMD中K行镜片写满。