[发明专利]一种多层纳米复合涂层在审
| 申请号： | 201710125514.3 | 申请日： | 2017-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN106835034A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 刘和勇 | 申请（专利权）人： | 安徽智联投资集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23C14/16;C23C14/02 |
| 代理公司： | 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙)44394 | 代理人： | 胡慧 |
| 地址： | 241300 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂层，所述涂层为一种多层纳米复合涂层，包括过渡层和表涂层，其中表涂层为TiCN纳米涂层；所述过渡层为Ti、TiC、TiN、或Ti/TiN纳米层。其中过渡层厚度为100‑200nm，表涂层为600‑800nm。本发明还提供了制备上述纳米复合涂层的方法,采用多靶位、靶材基座能旋转选择工作靶材的溅射设备；将衬底固定于溅射靶前的样品架，安装靶材与靶位上，腔体温度加热、抽真空、通入Ar气，对衬底进行辉光刻蚀；开启高功率脉冲电源沉积过渡层；最后，通入N2，沉积TiCN涂层。本发明提供的纳米合金复合涂层，其多层纳米结构的设计使得本涂层综合具有膜基结合力强、涂层致密的优点，从而达到高硬度、高韧性、高耐磨和高温抗氧化性等涂层优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 纳米 复合 涂层 | ||
【主权项】：
一种涂层，所述涂层为一种多层纳米复合涂层，包括过渡层和表涂层，其中表涂层为TiCN纳米涂层；所述过渡层为Ti、TiC、TiN、或Ti/TiN纳米层。
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