[发明专利]一种多层纳米复合涂层

权利要求书

1.一种涂层，所述涂层为一种多层纳米复合涂层，包括过渡层和表涂层，其中表涂层为TiCN纳米涂层；所述过渡层为Ti、TiC、TiN、或Ti/TiN纳米层。

2.根据权利要求1所述的一种多层纳米复合涂层，其特征在于：所述过渡层厚度为100-200nm，表涂层为600-800nm。

3.根据权利要求1或2所述的一种多层纳米复合涂层，其特征在于：采用多靶位、靶材基座能旋转选择工作靶材的溅射设备；制备步骤包括：

1）将衬底分别在丙酮和乙醇中各超声清洗20min，烘干；

2）将衬底固定于溅射设备的样品架上置于溅射靶前，安装靶材于靶位上，靶基距为16cm；腔体温度加热至300℃，抽真空至4.0×10^-3Pa以下，通入气压为1.0Pa的Ar气，基体偏压-350V，对衬底进行辉光刻蚀25min；

3）开启高功率脉冲电源沉积过渡层，膜层为100-200nm；

4）通入N2，流量20sccm，保持腔体气压0.35Pa，调整偏压-50--300V，频率为350kHz，，沉积TiCN涂层，采用脉冲溅射，脉冲电压700V，脉宽180μs，频率100Hz，靶功率850W；沉积时间为80-100min，膜层厚度600-700nm。

4.根据权利要求3所述的一种多层纳米复合涂层，其特征在于：衬底采用单晶硅片、玻璃片或钢片。

5.根据权利要求4所述的一种多层纳米复合涂层，其特征在于：所述靶材至少包括合金TiC靶。

6.根据权利要求5所述的一种多层纳米复合涂层，其特征在于：所述靶材还包括纯金属靶Ti。