[发明专利]一种悬臂梁结构微力及微小位移传感装置

摘要

光电子器件封装过程中，阵列光纤与波导芯片之间相互接触时产生的微力以及微位移是检测的重点，同时也需要考虑在检测过程中阵列光纤与波导芯片之间填充UV胶后所带来的应力及微小位移。一种悬臂梁结构微力及微小位移传感装置是基于悬臂梁结构载荷与应变之间的工作原理而设计的，此传感器具有同时实现对力与位移同时检测的目的。采用悬臂梁结构是因为其结构相对简单，加工比较方便，在较小外力和位移的测量中应用较多，因此采用在悬臂梁上进行优化改进，更易达到结构简单、性能优越、效果较佳的目的。

主权项

一种悬臂梁结构微力及微小位移传感装置，其特征是：一种悬臂梁结构微力及微小位移传感测量装置，具有圆弧弹性铰链，所述圆弧弹性铰链一端与铝合金支架连接，另一端与应变梁连接；所述弹性薄片的一端与应变梁连接，另一端与铝合金支架连接；所述上表面电阻应变片通过AB胶固定在弹性薄片上表面；所述下表面电阻应变片通过AB胶固定在弹性薄片下表面；所述力作用点与应变梁连接；所述定位孔位于铝合金支架四周，用于固定该测量装置。