[发明专利]抛光头

摘要

本发明提出一种抛光头，该抛光头包括基板、驱动件、上浮动件、下浮动件、传动件，以及吸附件，其中，驱动件包括第一连接端，和第一传动端；上浮动件包括第二连接端和上浮动端，第二连接端与第一连接端同轴心固定相连，上浮动端为凹球面或者凹圆锥面；下浮动件包括下浮动端和第三连接端，下浮动端为凸球面；下浮动端的凸球面与上浮动端的凹球面或者凹圆锥面相适配，且可拆卸地相连，且上浮动件与下浮动件之间进行浮动的转动中心不高于工件的抛光表面。通过本发明能够减小接触点变形，减少工件与抛光盘间的偏摆，弥补抛光头与抛光盘之间的平行度误差，使工件贴合在抛光盘表面，且提升抛光效果。

主权项

一种抛光头，其特征在于，包括：基板、驱动件、上浮动件、下浮动件、传动件，以及吸附件，其中，所述驱动件包括：第一连接端，和第一传动端；所述上浮动件包括：第二连接端和上浮动端，所述第二连接端与所述第一连接端同轴心固定相连，所述上浮动端为凹球面或者凹圆锥面；所述下浮动件包括：下浮动端和第三连接端，所述下浮动端为凸球面；所述下浮动端的凸球面与所述上浮动端的凹球面或者凹圆锥面相适配，且可拆卸地相连，且所述上浮动件与所述下浮动件之间进行浮动的转动中心不高于工件的抛光表面。